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现在最新工艺纯水设备系统主要分为两个部分,分为预处理部分和除盐部,预处理部分又分为常规预处理及全膜法预处理,而除盐部分,一般则采用RO反渗透,或者离子交换除盐系统.
一般包括预处理系统、反渗透装置、后处理系统、清洗系统和电气控制系统等.
预处理系统一般包括原水泵、加药装置、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等.其主要作用是降低原水的污染指数和余氯等其他杂质,达到反渗透的进水要求.预处理系统的设备配置应该根据原水的具体情况而定.
反渗透装置主要包括多级高压泵、反渗透膜元件、膜壳（压力容器）、支架等组成.其主要作用是去除水中的杂质,使产水水质满足使用要求.
后处理系统是在反渗透不能满足出水要求的情况下增加的配置.主要包括阴床、阳床、混床、杀菌、超滤、EDI等其中的一种或者多种设备.后处理系统能把反渗透的出水水质更好的提高,使之满足使用要求.
清洗系统主要有清洗水箱、清洗水泵、精密过滤器组成.当反渗透系统受到污染出水指标不能满足要求时,需要对反渗透进行清洗使之恢复功效.
电气控制系统是用来控制整个反渗透系统正常运行的.包括仪表盘、控制盘、各种电器保护、电气控制柜等.
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近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术，则是超纯水制造技术的一次革命，从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。国家经委也已将RO
+ EDI 成套技术的应用列入国家重点推广范围，对使用的企业给以政策上的优惠。
EDI超纯水制取工艺
预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
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