都有湿法 该方法是将卤化锂溶于无水氟化氢中形成LiF·HF溶液，然后通入PF5气体进入反应生产六氟磷酸锂结晶。经分离、干燥得到产品。干法 该方法是将LiF用无水HF处理，形成多孔LiF，然后通入PF5气体进行反应，从而得到产品。溶剂法 该方法是使锂盐与氟磷酸的碱金属盐、铵盐或有机铵盐在有机溶剂中反应，结晶，从而制得六氟磷酸锂产品。
