1.起源
省名起源甚早，魏晋时期已有尚书省、中书省之称，然皆为中枢要署，不直辖地方。公元588年（隋文帝于开皇八年）伐陈，曾置淮南行省于寿春，但不久即废。金入主中原之初，曾出现过行省制度，在外地设立行尚书省，但为时短暂。蒙古人兴起之后，仿金实行行省制度。元世祖一方面将尚书省并为中书省，总理朝政；另一方面，在地方设立若干行中书省，作为朝廷中书省在外地的代理机构。它最初是一种临时设置，并只管军事，后演变为兼管民政，其长官也由中央官吏演变为地方官吏。其间从伐金到灭宋，历经70余年，平宋以后成了元朝的行政区划单位。
2.变迁
1231年（蒙古在太宗三年）即灭金的前三年，始立中书省，以著名的政治家、地理学家耶律楚材为中书令。入主中原后于1251年（宪宗初年），在燕京等处置设行尚书省。1260年（中统初年），元世祖忽必烈改置行中书省，其后屡屡增多，但是一直到1295—1296年（元贞年间）行省的设置和辖区还都很不固定，即在忽必烈统一中国（1279年）后的20年中行省制并未固定下来，直到13世纪末、14世纪初的元成宗时期才开始固定，逐步形成元代省制行政区划。
3.确立
1321—1322年（元英宗至治时），全国划分为12个一级行政区：1个中书省、11个行中书省。中书省为中央机构中书省的直辖地区，又称都省、腹里，包括今北京、天津、山西、河北、山东以及河南和内蒙的部分地区。十一行中书省为岭北、辽阳、陕西、河南、江浙、江西、湖广、云南、四川、甘肃、征东。其中，征东行省即高丽国，行省负责人由高丽王兼，性质与内地行省不同，所以也有人认为只有10个行中书省。
元末，又分出许多行省，如中书省分出山东行省，江浙行省分出福建行省；有些行省区域过大，又划置分省，如福建行省内置建宁、汀州、泉州分省。可见，元末行省制也已开始混乱。
元代行省以下的行政区划略同于宋，行省下辖路，路领府、州，府、州辖县。但也有不辖县的路、府、州；不隶于路的府、州，而直隶于行省。直隶于行省的府、州称为直隶府、直隶州；隶于路的府、州，称为散府、散州。当时与路平级的直隶州、直隶府为数不少。另外，元仿宋的“军”行政区划，置有军和安抚司，为数不多，都在边境少数民族的区域内置设。军有直隶于行省的，也有归路统辖的；安抚司都直隶于路。元代在一个中书省、11个行中书省下，置路185，府33，州559，军4，安抚司15，县1127。
此外，元政府设立了宣政院（初为总制院），除掌管全国佛教事宜外，还负责统辖青藏高原（今西藏）地区的军政事务。
自元代开始，中国又出现了一种新的行政区划制度，其最高一级的行政区划单位为行省（简称为省），因此称为行省制时期，该时期从13世纪后期至20世纪初，历经元、明、清三代。
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