因同周期从左向右元素的非金属性增强,同主族元素从上到下元素的非金属性减弱,C、Si同主族,C、O、F同周期,则非金属性Si<C<O<F,由非金属性越强,则对应的氢化物的稳定性越大,则氢化物按稳定性由弱到强的顺序为SiH4<CH4<H2O<HF,故选C.