扫描电镜的分辨率与什么有关

2025-04-06 06:29:00
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回答1:

  1. 灯丝。钨灯丝分辨率低,场发射枪分辨率高。冷场发射最高。

  2. 工作距离。工作距离小,分辨率高,反之亦然。

  3. 试片。导电好,分辨率高。反之亦然。