你指玄幻小说里的……还是民间传说里的？
不过不管哪个，下面的解释基本都符合
妖
指异于常态而害人的东西
魔
佛教把一切扰乱身心、破坏行善、妨碍修行的均称为“魔”，或指英语的demon(恶魔)一类的生物
鬼
人死后的灵魂
(部分坏鬼可以为妖和魔)
怪
就是妖或魔，称呼不同
神
神,天神引出万物者也。――《说文》
创造和管理万物的最高存在
仙
指修炼得道长生不死的人,或指能达到至高神界的人物或生灵。
这套解释……
基本找不出很多例外。
其他几个仁兄的答案牵强些，主观色彩比较重，而且很容易可以举出反例。
比如人死后被册封为神的故事很多，不能说明神都比人类古老。
再比如鬼很多是无害的，为什么一定要“怨”?
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