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等离子刻蚀是什么意思？工艺技术是什么？
等离子刻蚀是什么意思？工艺技术是什么？
主要用于太阳能电池片的刻蚀~
2025-03-04 08:38:24
推荐回答（1个）
回答1：
等离子刻蚀也叫干法刻蚀，主要是刻断PN结的，就是用高能等离子体和四氟化碳来腐蚀硅片！
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