东南大学有，东南大学微电子机械系统教育部重点实验室 具体的可以在MEMS资讯网的专家学者一栏目中寻找祝你找到好老师
MEMS是个概念，没有必要去专门搞这个。还是去做微电子类的东西吧。
好像天津大学也刚刚成立个MEMS实验室，据说从国外引进了几位人才。
