多晶硅还原炉有什么危险吗

2025-04-25 19:38:22
推荐回答(3个)
回答1:

危险1:氢气可能泄露,引起爆炸;
危险1:夹套或冷却水供应不上烧坏炉子;
危险3:电极和视镜是整个还原炉最脆弱的地方,一定要保证冷却水;
危险4:在停炉时要做好降温和置换工作,尤其是对视镜等做检修时要确保里面的氢气置换完全,不然易发生事故,有过先例的!
总之,按照操作规程来,小心驶得万年船。

回答2:

还原炉里面是用纯的氢气以及三氯氢硅,在1100°条件左右进行反应,生成的硅沉积在硅棒表面,慢慢的生长,一般都要72小时以上时间不间断的供料供电。炉壁式夹层,用循环水进行冷却。
但是我不知道硅液溢流是什么情况??呵呵 除非是炉子里面温度1300以上时,硅棒才可能融,但是也不能溢流吧?
危险就是氢气可能泄露,引起爆炸,还有就是温度过高,小心压力不要太大;炉壁的水千万不能漏在炉子里面,要不然有点危险。其它的来说,没有太多可怕的吧!)

回答3:

硅液溢流的情况下可能会爆炸