关系式：方块电阻Rs=ρ/w （其中ρ为薄层材料的电阻率，w为薄层材料的厚度）。注意：1-薄层材料的电阻率必须是均匀的。如样品是扩散层，本关系式不成立；2-假如采用直线四点探针法测试样品，必须在w/s小于0.6的情况下（其中s为探针间距），使用本关系式。
方块电阻：Rs=ρ/t (其中ρ为块材的电阻率,t为块材厚度）
Rs=ρ/t
