求教一下四氯化硅的工业生产方法

2025-04-15 12:03:01
推荐回答(2个)
回答1:

很简单,用废硅粉直接通氯气反应。这样比较经济,但是对设备要求比较高,各种参数也与生产三氯氢硅不一样。

回答2:

目前一般是不直接生产四氯化硅的,四氯化硅都是多晶硅生产过程中副产的。