应用前景
当今微电子薄膜,光学薄膜,抗氧化薄膜,巨磁电阻薄膜,高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用,在工业生产的薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜,由于电路集成程度的不断提高,薄膜厚度的任何微小变化,对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外,薄膜材料的力学性能,透光性能,磁性能,热导率,表面结构等都与厚度有着密切的联系。
应用领域
ZM10X可用于物体尺寸的非接触测量与控制,如零件高度、边缘、直径、线径、宽度、间隙、内径、外径等。有效降低了生产后的单件检验成本,并能有效节省原物料的损耗,降低人员需求。
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