空分的深冷分离法：

1、空气过滤系统；除尘过滤，去除灰尘和机械杂质
2、空气压缩机系统；对气体作功，提高能量、具备制冷能力
3、空气预冷系统；对气体预冷，降低能耗，提高经济性。有预冷的一次节流循环比无预冷的一次节流循环经济，增加了制冷循环，减轻了换热器的工作负担，使产品的冷量得到充分的利用；
4、空气净化系统；防爆、提纯；空气是多组分组成，除氧气、氮气等气体组分外，还有水蒸气、二氧化碳、乙炔及少量的灰尘等固体杂质。这些杂质随空气进入空压机与空气分离装置中会带来较大危害，固体杂质会磨损空压机运转部件，堵塞冷却器，降低冷却效果；水蒸气和二氧化碳在空气冷却过程中会冻结析出，将堵塞设备及气体管道，致使空分装置无法生产；乙炔进入空分装置后会导致爆炸事故的发生，所以为了保证制氧机的安全运行，清除这些杂质是非常有必要的。
利用固体吸附剂是对气体混合物中多组分吸附能力的差异进行的；氧氮产量比1：（2.5~3.5）；
作用：吸附空气中的水分、二氧化碳、乙炔、丙烯、丙烷、重烃、N2O等杂质。
5、空气压缩膨胀系统；制冷系统，换热系统，在膨胀过程中，有外功输出，膨胀后气体内位能增大，需要消耗能量，这些能量需要用动能补偿，故气体温度必然降低。换热系统：实现能量传递，提高经济性，低温操作条件；
6、空气分离系统；氮/氧分离主精馏塔系统组成
空气分离，可将适量的膨胀空气（占空气的20%~25%）直接送入上塔进行精馏；从下塔顶部或冷凝蒸发器顶盖下抽取氮气，复热后进入氮气透平膨胀机，经膨胀机并回受其冷量后，作为产品输出或者放空。
7、氧气压缩；
8、氮气压缩；
9、液体储存汽化系统；

深冷分离法，又称低温精馏法，是一种用于分离空气或其他混合气体的技术。该方法主要利用不同气体在低温下的沸点差异，通过压缩、冷却和精馏过程，将混合气体分离成单一组分或高纯度组分。以下是深冷分离法的一些关键步骤和特点：

• 空气压缩和净化：空气首先经过过滤器去除灰尘和机械杂质，然后通过压缩机提高压力。压缩后的空气进入冷却器降低温度，再经过干燥净化器去除水分、二氧化碳等杂质。

• 空气液化：净化后的空气进入空分塔，通过热交换使空气液化成为液空。液空主要是液氧和液氮的混合物。

• 精馏分离：利用液氧和液氮的沸点差异，通过精馏塔进行精馏，使它们分离来获得氮气和氧气。在精馏塔中，沸点较低的氮气更容易汽化，而沸点较高的氧气则更容易冷凝，从而实现分离。

• 产品收集：分离后的氧气和氮气分别收集起来，可以以液态或气态形式储存和运输。

深冷分离法的优点是产品气体纯度高，适用于大规模气体分离过程，如空气制氧。

目前，在我国制氧量的80%是用该法完成的。然而，该方法的能耗较大，工艺设备复杂，维修保养不便。