楼上的,你错了,采用脉冲飞行时间法的传感器精度有可以达到μm级的,不信你可以去查查ZL D S10 0
要看原理:脉冲飞行时间法,精度最好的就是cm级的;相位法,精度最好是nm级!
um
如果不加其他限制条件,仅仅是激光测微仪的话,精度可以到nm。