硅集成电路制造工艺主要由哪几个工序组成

2025-04-28 11:03:56
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回答1:

每本书讲的不太一样。
一般来说 增层(氧化)、刻蚀、掺杂、热处理。
工艺细节可以搜索半导体工艺制造流程。