我不是很清楚你说的Mark点无法定位具体是什么情况，只说一种情况，就是机器找不到Mark点，直接的原因是1，Mark点坐标不准确。2，mark点搜索范围太小。3，mark点搜索范围太大，机器找错了别的相似图形作为mark点了。
我是外行啊，随便乱说说。生产电子元器件是流水线上生产，而机械尽管是很先进的电脑，也无法避免误差，一个累计0.01μM的误差，到最后递增就不得了。是不是需要人为通过某些工具或者精度测量设备对流水线的误差进行纠正。纯属外行回答。
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