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在线薄膜测厚仪的测量原理是什么？精度可以多少？
在线薄膜测厚仪的测量原理是什么？精度可以多少？
2025-03-31 20:46:30
推荐回答（2个）
回答1：
如果是采用激光进行测厚的话，那测厚原理基本与ZTMS08一样，即
利用两个激光传感器的对射方式进行厚度测量，将传感器固定在稳定的支架上，确保两个传感器的激光能再同一点上。
回答2：
10-20μm吧
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