一是可能设备有扩散泵,有返油;二是可能膜料少了,镀薄了,不亮;三是可能镀的时间长了,或者工件离蒸发舟太近,温度太高。
镀薄了是肯定的,为什么会镀薄?1,玻璃基片上没处理干净.2,扩散泵因天热,水温过高,造成了扩散泵返油,污染真空室.3开启蒸发舟挡板,未全部打开.4,真空度低也有可能.
真空度太低,抽到-3Pa在做就白了。
a真空度太低b铝箔加太少c蒸发时间太长电流刚开始过大