光栅尺:分辨率、精度和解析度有什么区别?到底怎么区分?1um和5um是指分辨率吗?

2025-03-09 08:52:43
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回答1:

精度是指每米+/-多少um

比如+/-5um  或+/-3um  是指精度

5um 1um  0.5um 0.1um  都是指分辨率
光栅尺输出的分辨率