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管式PECVD，石墨舟内膜厚呈现外侧舟片高于内侧舟片，引起这种现象的原因是什么？
管式PECVD，石墨舟内膜厚呈现外侧舟片高于内侧舟片，引起这种现象的原因是什么？
2025-05-05 10:17:24
推荐回答（1个）
回答1：
可能跟管内压强，温度分布不均有关系，也有可能清洗舟，舟表面的那个膜不均，压强可能原因大点
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