改良西门子法多晶硅工艺优化有哪些模拟仿真软件？好像有个PolySim，不知能解决哪些问题，有谁有资源吗？

      PolySim软件是一款领先的针对改良西门子法多晶硅生产的高效模拟仿真软件。该软件主要面向光伏半导体上游企业工程师及相关院所研发人员，可以模拟整个还原过程，进而实现工艺参数优化及反应器设计改进。实践表明，PolySim软件的模拟计算结果与多晶硅还原炉实际操作结果十分相近，精确度可以达到98%以上。

      多晶硅的生长模拟过程包括大量的物理化学过程模型，如湍流热与质量传递，辐射传热，气相和表面化学反应，和硅棒的电加热的建模。PolySim软件还包含气相初期物的分解交互化学模型和原始表面化学模型，可以精确模拟气固界面化学反应过程，进而实现改善CVD沉积速率与均匀程度的目的。

      PolySim软件图形用户界面包括所有模拟所需的基础参数设定、问题规范、解算控制及结果可视化界面。在PolySim软件操作界面中，可以找到几乎所有有关操作条件和还原炉设计主要特性的参数设定选项。另外，PolySim软件可以评估非均匀性对不同的硅棒部分的生长状况的影响。应用PoySim软件对多晶硅整个生长过程进行模拟的时候，软件可以对整个生长过程根据硅棒直径或生长时间分为几个阶段点进行分别模拟，每个阶段点的模拟结果为瞬时反应器特性，整个生长模拟过程的不同阶段点的整合则为多晶硅整个生长过程。PoySim软件的图形用户界面可以实时显示残差曲线，这样可以方便的对残差收敛性进行观察控制。PoySim的模拟计算结果包括还原炉产率、单耗、硅转化率、电流参数、气体流量、硅棒中心温度、硅棒表面的气体消耗、气体流动条件及总能耗等参数。