三纳米光刻机是什么

2025-04-05 06:07:24
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回答1:

3纳米,是指节点技术的关键尺寸,而这个尺寸不是芯片能用肉眼看到的几何尺寸(一般是毫米到厘米级别),而一般是指栅极长度(gate length)。这个长度是又掩膜版上定义好的尺寸决定的,而在生产过程中决定性的由光刻机来实现(当然也要有光刻胶,腐蚀等技术的支持才能实现)。

1、集成电路尺寸的缩小,也就意味着器件(也叫晶体管)的进一步缩小,也意味着栅长的缩小,栅极的缩小是提升器件开断频率的重要方法之一。频率高了当然就意味着芯片快。

2、但是呢,栅长的减小,导致这个器件很容易烧坏,进而导致整个芯片的瘫痪,比如英伟达A100,采用7nm工艺制造,集成超过540亿个晶体管。虽然芯片出炉的时候就已经做了检测,且集成电路设计中也已做了这方面的考虑,但是这也不能动不动就坏一个吧。

以上两个矛盾之间在一代一代的磨合中实现螺旋式上升,促进了集成电路乃至互联网的大发展。

期间,就是现在好多科研工作者做的事情,想出了千奇百怪的结构优化设计和材料的筛选与改造。这涉及了物理、材料、工艺实现的高精度等富有极大挑战的科学技术,器件栅长的缩小也意味着多方面科学技术的突破。