硫酰氟是一种惊厥剂,经中国医科院卫生研究所急性和亚急性吸入毒性的研究结果表明,硫酰氟对小白鼠LC50为800ppm,相当于3.36g/m3。硫酰氟对家兔致死浓度为3250ppm。亚急性试验对大白鼠在55.6ppm下染毒2h,对大白鼠实质性脏器没有明显损害。硫酰氟对高等动物的毒性比其他熏蒸剂低。