六氟化硫断路器的缺点是六氟化硫气体在电弧的作用下分解低氟化路气体有毒。对设备和人体都有危害。
六氟化硫断路器一般价格较高，且对SF6气体的应用、管理、运行都有较高要求，六氟化硫是一种温室效应气体，其单分子的温室效应是二氧化碳的2.2万倍，是《京都议定书》中被禁止排放的6种温室气体之一。
