只要片子的膜厚和折射率极差不大，在你们所要求的范围内，应该没多大影响。正常工艺条件下，真空度波动不大就没什么影响，真空波动较大就会影响到片子的效率。
如果是压强太低的话薄膜的沉积速率较慢，折射率较低
一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍，一共洗两遍，然后再用氢气洗，之后就是成膜工艺气体配比充。
