个人理解，体积可能不一样，但与所谓器件规模并不成比例，换言之超大规模集成电路硅片体积并不比大规模大很多，究其原因还是不同规模的集成电路采用的制程工艺不一样，单位面积容纳的器件密度也即集成度有很大不同，比如一般大规模集成电路用140nm工艺就够了，而复杂的超大规模集成电路可能就需要10nm以下工艺才能满足性能与功耗等指标要求。
体积可能不一样，也可能一样，随着技术的发展，集成电路元器件密度越来越高，相同的体积下可集成的元器件越来越多。
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