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求教一下四氯化硅的工业生产方法
求教一下四氯化硅的工业生产方法
2025-04-15 12:03:01
推荐回答（2个）
回答1：
很简单，用废硅粉直接通氯气反应。这样比较经济，但是对设备要求比较高，各种参数也与生产三氯氢硅不一样。
回答2：
目前一般是不直接生产四氯化硅的，四氯化硅都是多晶硅生产过程中副产的。
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