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pvd真空镀膜时为什么罗茨泵和机械泵一起使用？ 和分子泵先后顺序？
pvd真空镀膜时为什么罗茨泵和机械泵一起使用？ 和分子泵先后顺序？
2025-03-14 04:24:35
推荐回答（2个）
回答1：
机械泵起动，真空度到达起动启动罗茨泵，分子泵由维持泵维持分子泵真空度，当容器真空度到达打开分子泵的精抽阀．
回答2：
同时开始是没有问题的，这是真空镀膜机的程序功能设定的。
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