在行省设置方面，基本沿袭了明代所置的两京与十三布政使司，即南北二京及山东、山西、河南、陕西、浙江、福建、江西、广东、广西、湖广、四川、云南、贵州。1644年（顺治元年）定鼎北京，以盛京为留都[3]。1645年（顺治二年）改北直隶为直隶省，改南直隶为江南省。1664年（康熙三年），分湖广为湖北、湖南二省。1667年（康熙六年），江南省正式分为江蘇、安徽二省。1668年（康熙七年），陕西省正式分为陕西、甘肃二省，自此形成了所谓「内地十八省」的格局。分别是：江苏、安徽、山西、山东、河南、陕西、甘肃、浙江、江西、湖北、湖南、四川、福建、广东、广西、云南、贵州。
1885年（光绪十一年），分福建省台湾府置台湾省。两年後台湾正式建省，称「福建台湾省」。1895年（光绪二十一年），因甲午战争战败，台湾省被割让予日本，遂被废除。1905年1月（光绪三十年十二月），分江蘇江宁、淮安、扬州、徐州四府及通州、海州二直隶州置江淮省，旋即裁撤。此後至清末，内地仍为十八省，与东三省、新疆省合为二十二省。
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