层流洁净室的送风量一般按室内断面风速确定 100级垂直层流洁净室断面风速不小于0.25m/s;水平层流洁净室断面风速不小于0.35m/s。 乱流洁净室一般按换气次数估算: 1000级洁净室不小于50次/h; 10000级洁净室不小于25次/h; 100000级洁净室不小于15次/h。 万级换气次数≥25次/小时(一般取27-28);十万级换气次数≥15次/小时(一般17-18) 但是不能盲目按照换气次数进行设计风量,要考虑房间及工艺余热、余湿。否则刚开始风量也许能满足温湿度要求,系统运行一段时间后就不会效果那么好了。