2中可能
1，真空室与扩散泵阀门密封不好，油返到真空室然后因为高温被干燥了。看看主阀周围的痕迹，如果有油迹果断停机维护。
2，扩散泵冷却不好，扩散泵油被抽走了，这种状况下需要维护扩散泵冷却水，也要停机的。
如果油返到镀膜室里，那你镀膜机镀出的产品就会含油，膜层就会不合格。如果是这种情况，就是在扩散泵和镀膜室之间的冷阱出了问题。
扩散泵确实是经济实惠，但用起来也是挺麻烦的，建议查查冷阱，冷却水是否畅通，冷却盘管内是否结垢冷却效果下降
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