民国二年（1913年），察哈尔改为察哈尔特别区，有6个旗和11个县，即张北、多伦、沽源、商都、宝昌、康保、兴和、陶林、集宁、丰镇和凉城。
1928年成为一个省。兴和、陶林、集宁、丰镇和凉城划入绥远省，并自河北省口北道宣化府划入以下10县：
宣化县
赤城县
万全县
怀来县
蔚县
阳原县
龙关县
延庆县
怀安县
涿鹿县
全部的旗隶属于锡林郭勒盟。
察哈尔省自1937年至1945年被日本占领并成为德穆楚克栋鲁普领导的日本控制区蒙疆的一部份。察哈尔民众抗日同盟军由冯玉祥和吉鸿昌在张家口成立于1933年3月26日。
中华人民共和国成立后，行政区划重新进行了调整。1952年，察哈尔省废设，现主要在内蒙古自治区境内，也有部份地区划入北京市和河北省。
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