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请问半导体制造过程中那些环节需要真空设备
请问半导体制造过程中那些环节需要真空设备
2025-04-29 21:11:38
推荐回答（2个）
回答1：
需要用的地方主要有蒸发，溅射，PECVD，干法刻蚀等，望采纳
回答2：
离子溅射，也就是镀铝
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