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磁控溅射靶材是铟、起辉气体是氩气(高纯),反应气体是氧(高纯),在基片上需要生成三氧化二铟
磁控溅射靶材是铟、起辉气体是氩气(高纯),反应气体是氧(高纯),在基片上需要生成三氧化二铟
2025-02-25 15:56:40
推荐回答(2个)
回答1:
氧流量,控制靶中毒。
沉积膜时的时间,
基材的清洁问题,
回答2:
1.氧分压。
2.靶不能中毒。
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