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氮化硅涂层在完好无损的情况下为什么石英坩埚还会和硅发生反应导致粘
氮化硅涂层在完好无损的情况下为什么石英坩埚还会和硅发生反应导致粘
2025-04-30 22:42:46
推荐回答（2个）
回答1：
渗硅了吧？ 原因多多：打底喷涂没喷好水分后析出了，留下了空洞；坩埚高纯层有问题使涂层发生肉眼不可见的微小裂纹；坩埚体有气孔，造成坩埚局部变形产生凹坑，覆盖的涂层开裂等等。。。。。。
回答2：
产生了SiO2
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